国内MEMS传感器行业发展趋势

MEMS系统即微机电系统，MicroelectronMechanicalSystems，是指可批量制作的，集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微米或纳米级器件或系统。

MEMS传感器是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，其采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。

同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

2016年以来，国内传感器技术及产业快速发展，同时受国内物联网、5G、人工智能等技术的推动，传感器向着MEMS化、智能化、网络化、系统化的方向持续发展

国内MEMS传感器行业发展趋势

微型化

设备小型化、低能耗化未来，不断缩小产品尺寸、降低产品成本是MEMS传感器行业的重要发展趋势之一。

MEMS传感器产品的下游应用，对产品轻薄化有着较高的要求。MEMS生产厂商一方面改进封装结构计，在保证产品性能的基础上缩小器件尺寸，另一方面也同步缩小芯片的尺寸，在单片晶圆尺寸固定的情况下，芯片尺寸的减小增加了芯片的产量，也有效降低了平均成本。

未来，随着MEMS尺寸的缩小，MEMS（微机电系统）将逐步向NEMS（纳机电系统）转变，并获得尺寸和成本的持续降低。集成化

多传感器融合与协同单个设备中搭载的传感器数量逐渐增加，同时为了提升了信号识别与收集的效果和器件的集成化程度，传感器之间开始实现融合与协同（比如加速度计、陀螺仪、磁力计、IMU组合形成惯性传感器组）。

柔性压感MEMS优势明显

相比传统电容式方案，柔性MEMS对终端产品的结构和内部空间要求较低，能够有效降低组装成本。

应用场景多元化

随着人工智能和物联网技术的发展，MEMS传感器的应用场景将更加多元。MEMS传感器是人工智能重要的底层硬件之一，传感器收集的数据越丰富和精准，人工智能的功能才会越完善。未来，智能家居、工业互联网、车联网、智能城市等新产业领域都将为MEMS传感器行业带来广阔的市场空间。

2022年5月11日 12:01

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